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半導體濕制程相關設備
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活用形狀連接，擺臂動作可以很順滑 |
簡易控制、提高效率 *圖片僅供示意
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擺臂工位：如何讓多段定位的控制更加平穩？
設備：半導體濕制程相關設備工位：擺臂工位 解決方案：步進伺服混合控制系統αSTEP AZ系列 ●形狀連接功能 痛點：在對晶圓等進行涂膠、顯影等作業時，常會遇到運行不夠平穩。 而運動過程中，通過實時監控并重新修改數據的控制難題難以克服， 進而導致如涂膠等作業不勻，加劇了廢品率。 |
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步進伺服混合控制系統αSTEP AZ系列 |
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AZ系列形狀連接功能，讓運動控制更絲滑
■形狀連接運行
不停止電動機運行，繼續執行“結合數據”中設定的運行數據。過程中如有設定為“無結合”的運行數據，則會執行存儲數據運行至該運行數據，使電動機停止。
● 使用示例
在確定的位置改變速度時，運行數據的設定
查看設定演示視頻：
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僅需一個IO，上位控制更輕松
■降低控制難度，提升效率使用αSTEP AZ系列步進電動機的內藏定位功能，使用“形狀連接”只需發送一個I/O信號即可實現復雜動作。
無需頻繁讀取和寫入，節省大量的程序控制量，減輕上位程序負擔。
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多樣化的監控可視化功能，調試·使用·維護更安心
■波形監視
直觀對比規劃軌跡與電動機實際動作，針對性的快速調試。
?點此查看詳細介紹
直觀對比規劃軌跡與電動機實際動作，針對性的快速調試。
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