會員登錄/注冊
半導體制程相關設備
|
活用循環功能，坐標管理&定位十分輕松 |
提高效率、簡易控制
 |
晶圓旋轉主軸工位：連續單方向、固定位置的晶圓旋轉
設備：半導體制程相關設備工位：晶圓旋轉主軸工位 解決方案：步進伺服混合控制系統αSTEPAZ系列 ●絕對式系統 ●簡易循環功能 痛點：①晶圓載具連續旋轉，絕對坐標不斷累積， 最終導致坐標溢出，控制中斷，維護麻煩。 ②原點返回控制繁難，十分耗時。 |
|
步進伺服混合控制系統αSTEP AZ系列 |
|
循環坐標功能設定，坐標管理更簡易
■機械式絕對編碼器·實現絕對坐標位置管理絕對式系統位置管理，無需電池、傳感器等配件。支持高速原點返回、重新上電后的絕對坐標記憶、軟極限設置、內藏定位程序運行等。 有助于提升生產效率、節省安裝空間、降低成本。
循環功能是在電動機輸出軸的轉數超出設定的范圍時，自動預置當前位置的位置信息的功能。
應用例：
連續旋轉的鍍膜旋轉盤工位，電動機輸出軸每旋轉1rev，循環坐標時，坐標將自動清零。
連續旋轉的鍍膜旋轉盤工位，電動機輸出軸每旋轉1rev，循環坐標時，坐標將自動清零。
有助于：
①便捷的確認機構/晶圓當前位置狀態； ②避免坐標溢出時的坐標數據處理難題； ③高效的高速原點返回。 |
|
動作程序設定于驅動器中，大大減輕上位負擔
■內藏定位功能，輕松完成固定位置的定位控制運行數據
設定存儲數據運行所需的運行方式、目標位置、運行速度、加減速斜率、運行電流等。  |
自動順序連接
|
干貨：
①自動順序連接----上位僅需1個start輸入信號，實現簡單設定&控制
②Round循環功能----360°坐標循環不溢出，支持單圈高速回原點
①自動順序連接----上位僅需1個start輸入信號，實現簡單設定&控制
②Round循環功能----360°坐標循環不溢出，支持單圈高速回原點
固定動作定位的方式，哪種控制更簡便？
| 脈沖 | I/O、現場網絡 | 運動網絡 | |
| 控制類型 | Modbus、EtherNet/IP、PROFINET | EtherCAT、SSCNETⅢ/H、 MECHATROLINK-Ⅲ |
|
| 優點 | ●控制熟練 ●響應速度快 |
●控制簡單（I/O的控制方式） ●對上位控制要求低 ●部分上位自帶現場網絡控制協議 ●上位+驅動器方案成本性價比高 |
●接線簡單 ●響應速度快 ●適合動作要求高的設備 |
| 不足 | ●接線復雜 ●容易干擾 ●排故麻煩 |
●通訊速度相對慢 ●不支持快速響應動作 ●插補效果不佳 |
●專用通訊模塊 ●系統成本高 ●需具備一定的編程設定能力 |
相關產品
| |
|