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自動光學檢測設備
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自動光學檢測設備的扁平化設計應用 |
省空間、提高效率 |
自動光學檢測設備：壓縮設備高度，提升空間利用率
設備：自動光學檢測設備(AOI）工位：晶圓旋轉工位 解決方案：薄型·中空旋轉式傳動裝置DG2系列 ●薄型·扁平化、節省高度 ●絕對式系統 ●簡易循環坐標 痛點：提升設備空間利用率，設計多層、多腔室集群設備是半導體設備的開發趨勢。故此，壓縮每個腔體中的結構高度成為重中之重的新課題。 |
新品上市!
薄型·中空旋轉式傳動裝置
 NEW！電動機水平方向（薄型）
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● 薄型，扁平化 ● 大口徑中空設計 ● 搭載機械式絕對編碼器 ● 無齒隙高精度定位 |
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薄型·中空旋轉式傳動裝置DGⅡ系列 |
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薄型·中空的旋轉平臺，創設結構設計新高度
■全新薄型設計·有效壓縮高度設計|
備有多種組裝類型的中空旋轉式工作臺， 全新推出在高度上可大幅壓縮設備縱向空間的薄型中空旋轉平臺， 實現設備扁平化。 |
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■大口徑中空設計·巧妙利用省空間
可直接將負載安裝在旋轉平臺上，不僅省去傳動機構，方便安裝，更能通過中空設計實現由下而上的配線?配管。
大口徑中空孔（貫穿）用于布置復雜的配線、氣動（吸盤）及液壓配管等場合，節省配件設置空間。
可直接將負載安裝在旋轉平臺上，不僅省去傳動機構，方便安裝，更能通過中空設計實現由下而上的配線?配管。
大口徑中空孔（貫穿）用于布置復雜的配線、氣動（吸盤）及液壓配管等場合，節省配件設置空間。
絕對式系統·簡易循環坐標，應用控制更靈活
■機械式絕對編碼器·實現絕對坐標位置管理絕對式系統位置管理，支持重新上電后的絕對坐標記憶，無需電池、傳感器等配件，支持軟極限設置、內藏定位程序運行等。
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■循環功能·旋轉機構單圈循環坐標達成
循環功能是在電動機輸出軸的轉數超出設定的范圍時，自動預置當前位置的位置信息的功能。
循環功能是在電動機輸出軸的轉數超出設定的范圍時，自動預置當前位置的位置信息的功能。
例：電動機向同一方向每旋轉
1rev，循環功能有效時。 |
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應用例：
多圈旋轉時的晶圓旋轉工位，電動機輸出軸每旋轉1rev，循環坐標時，坐標將自動清零。
多圈旋轉時的晶圓旋轉工位，電動機輸出軸每旋轉1rev，循環坐標時，坐標將自動清零。
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結構·電控強大陣容，設備更小型·簡潔緊湊
■高剛性XY軸移栽對位·電動滑臺EZS系列
搭載高效節能的αSTEP AZ系列電動機。 采用簡易防塵構造，可阻止異物進入，抑制發塵，更備有無塵室對應品。
?點此查看詳細介紹
搭載高效節能的αSTEP AZ系列電動機。 采用簡易防塵構造，可阻止異物進入，抑制發塵，更備有無塵室對應品。
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■優化電控柜空間·mini、薄型多軸驅動器
備有支持全球主要工業用的網絡產品，擁有薄型的多軸驅動器，亦有十分小型輕量的mini驅動器。
?點此查看AZ系列mini驅動器詳細介紹 / ?點此查看AZ系列多軸驅動器詳細介紹
備有支持全球主要工業用的網絡產品，擁有薄型的多軸驅動器，亦有十分小型輕量的mini驅動器。
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相關產品
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?中空選裝式傳動裝置DGⅡ系列
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