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擺臂機構
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如何解決夾取晶圓片時， 因電動機振動而受損的問題？ |
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設備問題
電動機驅動的長桿機構夾取晶圓時，長桿機構會放大電動機的振動，使脆弱的晶圓片受損。那么如何有效減少振動，防止晶圓片因振動受損呢？ |
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2相步進電動機單體 PKP系列 CS減速機型 |
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使用減速機型步進電動機，可有效減輕振動，縮短整定時間，有效減少晶圓因振動而出現破損的現象。
當步進電動機的負載轉動慣量較大時，起動、停止時的過沖現象和回沖現象會變大，電動機的振動也會變大。 如下圖所示，當增加轉動慣量時，振動周期和振動衰減時間都會相應增大。 
——電動機無負載狀態
——轉子附加3倍轉動慣量的狀態 而減速機型步進電動機擁有更大的容許慣性負載，慣性比更小，因而可減輕過沖、回沖現象，減輕電動機的振動。 |
而東方馬達步進電動機PKP系列CS減速機型（?點此查看PKP系列CS減速機型規格詳細），在不改變減速機尺寸的基礎上，實現了轉矩和負載的提升。與一般減速機型相比，容許轉矩提高一倍。在明顯減輕振動同時，還能夠對應更大更重的加工工件。
另外由于重新優化齒輪的構造，實現中心軸的改良。 減輕了客戶在設計安裝板需花費的功夫，并提升了電纜線出現方向的自由度。
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