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真空設備
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真空設備如何實現小型化？ |
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設備
真空室中工件搬送裝置
用途
半導體部件、液晶屏幕等加工
設備概況
使用伺服電動機，通過皮帶、滑輪和傳動裝置來驅動滾珠絲桿
當前設備問題
由于在真空室內無法放置電動機，需要額外加裝傳動裝置此類部件，導致設備體量較大。
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αSTEP AR系列 真空型步進電動機 | 
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設置于真空環境，實現設備小型化
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真空型αSTEP AR系列是可以在10-5Pa的真空環境中使用的步進電動機組合產品。由于電動機可以設置在真空室中，傳動裝置、皮帶、滑輪等部件都可以省去。通過節省空間實現了設備的小型化。
  真空型電動機的特征與構造
●為抑制氣體排放，電動機采用鋁、不銹鋼，表面不做涂裝，且軸承采用了真空用潤滑油。
●排放的氣體和與通常潔凈環境下的氣體成分相同，因此使用時不必擔心會對真空環境造成污染。 ●為了能承受真空熱處理的溫度，采用耐高溫線圈。 抑制氣體釋放污染真空室的設計
為了抑制氣體的產生，電動機表面不做涂裝，軸承部分則使用了真空用潤滑油。產生的氣體方面，與通常潔凈環境下的氣體成分相同，因此使用時無需擔心污染真空環境。
 真空環境中也可反饋電動機狀態
由于搭載了真空對應旋轉變壓傳感器，電動機即使在真空環境中，也可以做到對過負載、過熱保護等狀態的監控。
  ※本產品暫時無法在線購買，如需購買還請聯絡距離您最近的銷售點（?點此查看各銷售點聯絡方式）注意： 本資料僅供參考。選購前請仔細確認設備需求和產品規格。 如需幫助，請洽詢本公司客戶咨詢中心（電話：400-820-6516）。
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