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晶棒生長設備
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步進電動機助力晶棒緩慢生長的應用 |
小型化 、 大容許
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晶棒生長設備：穩定低速的對晶棒進行提拉和旋轉
設備：晶棒生長設備機構：電動機卷繞提拉與直連旋轉機構 動作概況：通過兩臺電動機配合動作，輔助晶棒生長。 ①一臺電動機通過繩索緩慢提拉已經長成的晶棒，輔助晶棒生長后的提取； ②另一臺電動機帶動提拉工位和提拉著的晶棒原地旋轉，確保生長平面的均勻度。 |
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步進電動機諧波減速機 |
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配備諧波減速機一體化，實現小型化與穩定控制
■集減速機+步進電動機+編碼器一體化的高精密步進電動機，實現動力機構設計更小型化。
伺服電動機的減速機靠聯軸器聯結，步進電動機減速機型實現一體化、省空間，緊湊簡潔的設計且無需調整可輕易掌握「齒隙」及「精度」。
■掌握溫度變化，有助于預知保全。
預防由環境溫度、電動機運行狀況等所引發的“電動機過熱”報警輸出，避免因溫度報警導致意外停機而影響長晶。
可根據INFO輸出進行提前干預。
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大減速比諧波減速機，提高大容許轉矩與慣量
■輸出大轉矩與大轉動慣量晶棒的長度和質量隨著晶棒的生長而隨之增加（參考：12寸成型晶棒的長度約2-3m，質量可達400kg以上。），
因此在提拉和旋轉動作后期，均需要克服較大的負載轉矩和負載轉動慣量進行驅動。
諧波減速機型安裝尺寸90mm最大勵磁轉矩：
（單位：10^-7kg·m^2)
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晶棒的生長速度緩慢： 大幅提升負載轉矩和容許轉動慣量； 在晶棒生長應用上，充分發揮了減速機型步進電動機低轉速、 高轉矩的優勢。
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連續運行與滿足需求的速度區間
■連續運行*（高頻度運行），適合晶棒長時間的生長過程應用。
| 通過采用高效率電動機， 大幅減少了電動機的發熱 和耗電量，實現連續運行*。 |
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可實現高頻度運行與連續驅動*電動機。
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■搭配高減速比，仍備有一定的速度區間，確保晶棒在生長提拉過程和生長完成后繩索下放時的高、低速切換應用。
相關產品
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注意：
本資料僅供參考。選購前請仔細確認設備需求和產品規格。
如需幫助，請洽詢本公司客戶咨詢中心（電話：400-820-6516）。
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