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晶圓單片清洗設備應用提案
裝置概要
晶圓單片清洗設備由于工藝效果好、均勻性高，不易產生交叉污染，逐漸成為了半導體制造中的主流濕法清洗設備。該設備在晶圓上、下料、CUP升降裝置、噴淋/清洗裝置等機構應用上，東方馬達均提供強有力的解決方案。通過搭載步進伺服混合控制系統αSTEP AZ系列及其模組化產品，達成小型化、高精度、節省設計、裝配的人力和時間成本等多項課題。 以下為您介紹各工位應用提案：
晶圓旋轉工位
搭載免電池絕對式編碼器的AZX系列伺服電動機。可在高速領域內發揮高轉矩，適用于在晶圓上料后，結合不同清洗工藝的需求，對晶圓進行搭配不同試劑、不同清洗速度的多階段清洗。
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搭載免電池絕對式編碼器的伺服電動機
AZX系列搭載了與AZ系列相同的免電池機械式絕對編碼器（ABZO傳感器）。能夠用于定位運行和連續運行的伺服電動機。
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• 機械式傳感器
非通電狀態下也能夠保持位置信息 • 多回轉絕對式傳感器 可根據作為基準的原點，利用電動機軸 檢測±900轉（1800次旋轉）的絕對位置
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無需外部傳感器 由于是絕對式系統，因此不需要原點傳感器、限位傳感器。 優點： •提升高速原點返回＋原點返回精度 •降低成本 •節省配線 •不會受到外部傳感器誤動作的影響 |
無需電池 機械式編碼器不需要電池。位置信息由ABZO傳感器以機械方式管理。 優點： •無需更換電池 •海外運輸也放心 •無需電池空間（可自由安裝驅動器）
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在高速領域內發揮高轉矩
AZX系列在高速領域內發揮高轉矩。適用于移動量較多的定位用途（例：滾珠絲杠驅動）。
●AZX系列和AZ系列的轉速―轉矩特性的對比。
AZX系列在高速領域、AZ系列在低速領域具有轉矩優勢。
AZX系列在高速領域、AZ系列在低速領域具有轉矩優勢。
網絡對應驅動器
驅動器支持EtherCAT、EtherNet/IP、PROFINET。可使用1根通信電纜線連接上一級控制器與驅動器，因此，節省配線。
基本操作方法與AZ系列相同
AZX系列的基本操作方法與AZ系列相同。在同一裝置內同時使用AZX系列和AZ系列時，可減少操作方法變更帶來的麻煩。
搭載產品
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注意：
本資料僅供參考。選購前請仔細確認設備需求和產品規格。
如需幫助，請洽詢本公司客戶咨詢中心（電話：400-820-6516）。
本資料僅供參考。選購前請仔細確認設備需求和產品規格。
如需幫助，請洽詢本公司客戶咨詢中心（電話：400-820-6516）。
