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晶圓Pin針頂升機構的設計提案
裝置概要
隨著半導體工藝發展，對設備的要求也越來越高，對每個軸的動作也愈發嚴格。小型化、高效率、高精度、低振動……眾多需求在機構上的設計應用，以下將為您介紹各類提案：
 *圖示僅供參考，需外置導軌設計
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實現的動作： 將吸附于平臺上的晶圓片通過Pin針頂起，以便于利用搬運機械手進行取、送晶圓片。
※頂起前，晶圓通過“靜電吸附”、“真空吸附”等方式，附著在平臺上。
• 需要頂起多片晶圓，實現大負載。
• 頂升機構希望實現小型化。
• 提升效率，提高產能。
機構痛點·難題
• 靜電吸附型平臺，用氣缸頂升PIN針，可能出現“裂片”。• 需要頂起多片晶圓，實現大負載。
• 頂升機構希望實現小型化。
• 提升效率，提高產能。
課題：提升設備效率，提高產能
為提升生產效率，部分設備需要Pin針頂升、晶圓輸送等多機構同步動作：
場景①：兩軸無法很好配合動作，存在機械干涉、碰撞等問題；
場景②：一軸完成動作后，再執行第二軸動作，則效率較差。
因此，支持運動網絡控制型的驅動控制尤為重要，可支持實現多軸同步聯動運行，輕松提高動作效率。
解決方案： AZ系列對應各種FA網絡的驅動器
●六軸機械臂樣機視頻
為提升生產效率，部分設備需要Pin針頂升、晶圓輸送等多機構同步動作：
場景①：兩軸無法很好配合動作，存在機械干涉、碰撞等問題；
場景②：一軸完成動作后，再執行第二軸動作，則效率較差。
因此，支持運動網絡控制型的驅動控制尤為重要，可支持實現多軸同步聯動運行，輕松提高動作效率。
解決方案： AZ系列對應各種FA網絡的驅動器
最多可同時控制4軸的多軸驅動器
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●直接耦合上一級網絡 可使用1臺驅動器控制多軸。上一級網絡及電源的連接集中在1臺驅動器中，有助于節省配線和降低成本。 ●以統一的控制完成各種運動 步進伺服混合控制系統αSTEP AZ系列、除各種型號齊全的標準型外，備有帶電磁制動、減速機型等產品，同時還備有電動機與電動傳動裝置組合的機構產品。
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●六軸機械臂樣機視頻
小型·薄型的mini驅動器，讓設計自由度更高
●支持全球主要工業用網絡，選擇更多樣
●可收納到狹窄空間的小型化設計
?AZD-KRX為25mm
?AZD-KRX為25mm
●應用：半導體制程設備（例：多腔體結構）
①電控柜布局更緊湊*、實現小型化；
（如增加單元腔腔體數量，但電氣柜不會按腔體數量配套增加時，Mini驅動器更節省空間。）
②有效提升設備空間利用率。
①電控柜布局更緊湊*、實現小型化；
（如增加單元腔腔體數量，但電氣柜不會按腔體數量配套增加時，Mini驅動器更節省空間。）
②有效提升設備空間利用率。
搭載產品
注意：
本資料僅供參考。選購前請仔細確認設備需求和產品規格。
如需幫助，請洽詢本公司客戶咨詢中心（電話：400-820-6516）。
本資料僅供參考。選購前請仔細確認設備需求和產品規格。
如需幫助，請洽詢本公司客戶咨詢中心（電話：400-820-6516）。
