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晶圓Pin針頂升機構的設計提案
裝置概要
隨著半導體工藝發展，對設備的要求也越來越高，對每個軸的動作也愈發嚴格。小型化、高效率、高精度、低振動……眾多需求在機構上的設計應用，以下將為您介紹各類提案：
 *圖示僅供參考，需外置導軌設計
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實現的動作： 將吸附于平臺上的晶圓片通過Pin針頂起，以便于利用搬運機械手進行取、送晶圓片。
※頂起前，晶圓通過“靜電吸附”、“真空吸附”等方式，附著在平臺上。
• 需要頂起多片晶圓，實現大負載。
• 頂升機構希望實現小型化。
• 提升效率，提高產能。
機構痛點·難題
• 靜電吸附型平臺，用氣缸頂升PIN針，可能出現“裂片”。• 需要頂起多片晶圓，實現大負載。
• 頂升機構希望實現小型化。
• 提升效率，提高產能。
課題：傳感器異常、誤動作等所引起設備報錯
普通氣缸、增量式AC伺服電動機等應用，需要利用傳感器實現限位、原點等功能。
且傳感器接線麻煩，存在因傳感器本身或其配線破損、異常等導致設備故障停機的風險，影響生產。
解決方案： AZ系列步進伺服混合控制系統步進電動機（ABZO編碼器）
●無需電池的絕對定位視頻演示
普通氣缸、增量式AC伺服電動機等應用，需要利用傳感器實現限位、原點等功能。
且傳感器接線麻煩，存在因傳感器本身或其配線破損、異常等導致設備故障停機的風險，影響生產。
解決方案： AZ系列步進伺服混合控制系統步進電動機（ABZO編碼器）
支持絕對定位及縮短多軸的原點返回時間
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●搭載機械式絕對編碼器（ABZO編碼器） 無需傳感器、電池的設計，有助于實現小型化構造。 ●位置保持和高速原點返回 定位運行中，即使電源非正常停止或發生停電，也能保持位置信息。而且，即使需要回原點也無需使用外部傳感器，因此可實現高速原點返回。
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●搭載AZ系列的電動傳動裝置：
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| 電動滑臺 ?EZS系列 ?EAS系列 |
?電動缸 EAC系列 |
小型電動缸 ?DR系列 ?DRS2系列 |
?中空旋轉式 傳動裝置 DGII系列 |
齒輪·齒條系統 ?L系列 ?LJ直線減速機 |
?電動夾爪 EH系列 |
●無需電池的絕對定位視頻演示
無需外部傳感器，減少了相關問題發生
AZ系列搭載機械式絕對編碼器（ABZO編碼器）實時管理位置信息，可省去原點返回所需的外部傳感器。
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搭載產品
注意：
本資料僅供參考。選購前請仔細確認設備需求和產品規格。
如需幫助，請洽詢本公司客戶咨詢中心（電話：400-820-6516）。
本資料僅供參考。選購前請仔細確認設備需求和產品規格。
如需幫助，請洽詢本公司客戶咨詢中心（電話：400-820-6516）。
