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晶圓Pin針頂升工位·小型電動缸應用提案
裝置概要
半導體的工藝發展對設備的要求逐步提升，對每個軸的動作也愈發嚴格。小型化、高效率、高精度、低振動……眾多需求在機構上的設計應用，以下將為您介紹各類提案：
 *圖片僅供示意
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實現動作
將吸附于平臺上的晶圓片通過Pin針頂起，以便于利用搬運機械手進行取、送晶圓片。 ※晶圓頂起前，會通過“靜電吸附”、“真空吸附”等方式附著在平臺上。 機構痛點·難題
• 吸附型平臺采用氣缸頂升PIN針，晶圓可能出現“裂片”。• 需頂升大尺寸晶圓，實現大負載驅動。 • 實現小型化。 • 提升效率，提高空間利用率。 |
課題：空間狹小、安裝緊湊、負載重
設備空間小型化要求越來越高，對Pin針頂升機構空間要求更加嚴峻，故頂升機構的整體高度壓縮降低成為新課題。
解決方案： 一體化、小型電動缸DRS2系列
●應用：半導體制程設備（例：加熱工藝）
根據制程工藝要求，需將晶圓頂升至多個高度位置，以進行將晶圓控制在不同的溫度下進行反應制造。
DR/DRS2系列小型電動缸由于采用控制性能優異的AZ系列步進電動機，支持：
設備空間小型化要求越來越高，對Pin針頂升機構空間要求更加嚴峻，故頂升機構的整體高度壓縮降低成為新課題。
解決方案： 一體化、小型電動缸DRS2系列
 *圖片僅供示意
●選用參考例：DRSM42RG-04B2AZMK ?帶電磁制動 ?αSTEP與滾珠螺桿一體化的緊小型機體 ?安裝面僅為42mm ?垂直可搬質量達10kg ?最小移動量0.001mm ?反復定位精度±0.003mm 組合使用的電動傳動裝置、驅動器詳細內容， 詳情請洽詢客戶咨詢中心或距離您最近的銷售點。
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有助于裝置的小型化、輕量化
●構成部件數的比較將工作物移動相同沖程量時的構成范例  |
搭載ABZO機械式絕對編碼器，無需傳感器，省空間、省配線
機身小巧，實現裝置小型化、輕量化，加之搭載ABZO編碼器，故無需原點傳感器。
除有助于進一步幫助裝置實現節省空間、節省配線外，還能夠避免使用傳感器時的定期維護及可能出現的故障。
●應用：半導體制程設備（例：加熱工藝）
根據制程工藝要求，需將晶圓頂升至多個高度位置，以進行將晶圓控制在不同的溫度下進行反應制造。
DR/DRS2系列小型電動缸由于采用控制性能優異的AZ系列步進電動機，支持：
?多點絕對定位 ?無需外部傳感器 ?停止時保持力 ?順暢地加/減速運行
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搭載產品
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?小型電動缸DR系列（搭載αSTEP AZ系列） 因此無需原點傳感器、限位傳感器等外部傳感器。
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注意：
本資料僅供參考。選購前請仔細確認設備需求和產品規格。
如需幫助，請洽詢本公司客戶咨詢中心（電話：400-820-6516）。
本資料僅供參考。選購前請仔細確認設備需求和產品規格。
如需幫助，請洽詢本公司客戶咨詢中心（電話：400-820-6516）。
